本專(zhuān)利公開(kāi)了一種用于動(dòng)態(tài)觀察碲鋅鎘材料化學(xué)腐蝕坑的裝置，裝置由樣品腐蝕單元、自動(dòng)進(jìn)液?jiǎn)卧U液回收單元和觀察測(cè)控單元組成。將樣品固定在可進(jìn)行光學(xué)觀察的腐蝕槽中，通過(guò)自動(dòng)進(jìn)液?jiǎn)卧獙?shí)現(xiàn)一種或多種腐蝕液和清洗液的自動(dòng)注入、動(dòng)態(tài)更新和順序切換，過(guò)程中產(chǎn)生的廢液由廢液回收單元即時(shí)回收，觀察測(cè)控單元集成了顯微鏡、CCD相機(jī)、測(cè)控軟件以及存儲(chǔ)設(shè)備，對(duì)材料腐蝕的微觀過(guò)程進(jìn)行實(shí)時(shí)觀察、采集、顯示和存儲(chǔ)。本專(zhuān)利能夠?qū)崟r(shí)觀察記錄材料腐蝕坑從產(chǎn)生到消失的動(dòng)態(tài)過(guò)程，能夠在固定顯微視場(chǎng)下原位完成多步腐蝕清洗工藝，能夠?qū)崿F(xiàn)腐蝕過(guò)程中腐蝕液的動(dòng)態(tài)更新，有效提高了工藝的可控性、連續(xù)性和穩(wěn)定性，同時(shí)改善了腐蝕效果。