本實(shí)用新型公開了一種用于化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的拋光液供應(yīng)裝置,其包括與去離子水輸送管和拋光液輸送管連通的三通電磁閥、與三通電子閥輸出管連通的流量計(jì)、與流量計(jì)連通的拋光液存儲罐、設(shè)于拋光液存儲罐上方的攪拌電機(jī)、由攪拌電機(jī)驅(qū)動的攪拌葉片、設(shè)于拋光液存儲罐內(nèi)的用于冷卻的盤管、液位傳感裝置以及測溫裝置,拋光液存儲罐通過輸出管連通至待拋光材料;攪拌電機(jī)經(jīng)由變頻調(diào)速器控制,所述拋光液存儲罐外部設(shè)有保溫層。本實(shí)用新型通過流量計(jì)控制拋光液和去離子水的量來配比所需拋光液的濃度,攪拌電機(jī)將拋光液和去離子水混合均勻;本實(shí)用新型可自動配比拋光液濃度,并通過設(shè)置的測溫裝置來調(diào)節(jié)盤管內(nèi)冷卻液的溫度,以保持溫度的恒定。
聲明:
“用于化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的拋光液供應(yīng)裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)