本實用新型公開了一種微波等離子體化學(xué)氣相沉積金剛石膜的裝置,包括微波源和反應(yīng)沉積室,所述微波源與波導(dǎo)相連接,所述波導(dǎo)上設(shè)有模式轉(zhuǎn)換器,所述模式轉(zhuǎn)換器的下方設(shè)有圓柱形型腔,所述圓柱形型腔的下方安裝有反應(yīng)沉積室,所述反應(yīng)沉積室的頂端設(shè)有石英微波窗,所述反應(yīng)沉積室的側(cè)壁上從上到下依次開設(shè)有進氣口和觀察窗口,所述反應(yīng)沉積室的側(cè)壁上開設(shè)有與測溫儀相連接的測溫孔,所述反應(yīng)沉積室內(nèi)設(shè)有沉積臺,所述沉積臺上方設(shè)有微波等離子體球,所述反應(yīng)沉積室與
真空泵相連接。本實用新型通過設(shè)置圓柱形型腔和半橢球形石英微波窗,可使得激發(fā)等離子體位置穩(wěn)定、密度高,不僅提高了金剛石膜的沉積效率,還降低了合成成本。
聲明:
“微波等離子體化學(xué)氣相沉積金剛石膜的裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)