一種在真空室外加熱和測溫并可調(diào)節(jié)高度的化學(xué)輔助離子束刻蝕系統(tǒng)樣品臺(tái)。它是在臺(tái)面下面接上波紋管和支撐桿,波紋管另一端通過圓環(huán)柱接在法蘭上,法蘭通過管壁與真空室底端法蘭相連,使加熱和測溫部分與真空室隔離,便于在大氣中進(jìn)行操作,支撐桿通過一固定件伸出來,下端有螺紋,旋上螺母可調(diào)節(jié)臺(tái)面高度。
聲明:
“化學(xué)輔助離子束刻蝕系統(tǒng)樣品臺(tái)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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