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用于化學氣相沉積爐的進氣管裝置

814 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 07:03:20

本實用新型涉及一種用于化學氣相沉積爐的進氣管裝置，包括底座，底座具有帶螺紋的沉孔，沉孔的底部具有通孔；套管包括管體，管體的一端為帶有外螺紋的連接部，管體的另一端設置爐體連接部，爐體連接部內螺紋孔的直徑大于管體的外徑，管體的側壁上設置有進氣管；上氣管的一端具有外螺紋，且上氣管的管壁上設置有多個氣孔；保護管具有保護管管體和設置于保護管管體端部的卡環(huán)；保護管的卡環(huán)放置在底座的沉孔內，套管套裝在保護管的保護管管體上并由連接部與沉孔螺紋連接，上氣管套裝在保護管的保護管管體上且上氣管的螺紋端插入爐體連接部內與管體螺紋連接。本申請的裝置集進氣、預熱、開孔測溫等優(yōu)點為一體，且便于拆卸、組裝簡單。

聲明：

“用于化學氣相沉積爐的進氣管裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)