一種包括半透明窗玻璃(220,320,404,516,524,604)的化學機械拋光墊(200,300,400,500,600)。該窗玻璃可允許使用從晶圓(212,324,608)或其它正在拋光的物體表面反射的光能進行光學測量,窗玻璃包括一個前端(350,416,632)和一個后端(348,412,628),每個端均為流線型,以便降低對窗玻璃周圍拋光介質(216)流動的干擾。拋光墊還可以進一步包括在窗玻璃周圍轉向的槽(336,428,520,640),以便為拋光介質在窗玻璃區(qū)域提供一個連續(xù)的路徑。
聲明:
“具有流線型窗玻璃的化學機械拋光墊” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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