本發(fā)明公開了一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔體結(jié)構(gòu),包括用于外延片生長的襯底承載盤(1)、進(jìn)氣裝置(2)、出氣裝置(3),襯底承載盤(1)存放在殼體(4)所設(shè)的密封腔體內(nèi),襯底承載盤(1)通過支撐桿直立支撐,進(jìn)氣裝置(2)裝設(shè)在密封腔體頂部,出氣裝置(3)裝設(shè)密封腔體底部。本發(fā)明可提高單爐產(chǎn)量,降低反應(yīng)能耗從而降低生產(chǎn)成本,保證淀積的均勻性,實(shí)時(shí)監(jiān)測腔體環(huán)境參數(shù),提高反應(yīng)效率。
聲明:
“金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔體結(jié)構(gòu)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)