本實用新型涉及化學(xué)機械式研磨裝置用承載頭的卡環(huán)及具備其的承載頭,包括:承載頭本體;隔膜,其加裝于承載頭本體的下面;卡環(huán),包括卡環(huán)主體和引導(dǎo)凸起,所述卡環(huán)主體隔開地配置于隔膜的外側(cè)面,所述引導(dǎo)凸起在卡環(huán)主體的內(nèi)面凸出形成。承載頭本體包括:本體部,其與驅(qū)動軸連接并旋轉(zhuǎn);底座部,其與本體部連接并一同旋轉(zhuǎn)。本體部上端結(jié)合于驅(qū)動軸并進行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。隔膜包括:底板,側(cè)面,多個環(huán)形態(tài)的隔壁,其在底板的中心與側(cè)面之間,結(jié)合于底座部;在隔膜與底座部之間,形成有被隔壁分割的多個壓力腔。在多個壓力腔,可以提供用于分別測量壓力的壓力傳感器。各壓力腔的壓力可以按照壓力控制部的控制而單獨地得到調(diào)節(jié)。
聲明:
“化學(xué)機械式研磨裝置用承載頭的卡環(huán)及具備其的承載頭” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)