高可靠氫敏化學傳感器是一種用于測試溶液 pH值的傳感器,采用在N型硅補底上制作場效應(yīng)管 的結(jié)構(gòu),其介質(zhì)采用雙層結(jié)構(gòu)的氫敏感薄膜,源、漏區(qū) 的金屬電極在襯底背面引出,背面金屬電極與源、漏 之間由利用鋁熱遷移形成的P+型通道實現(xiàn)電連接, 它可采用常規(guī)的半導體平面工藝實現(xiàn),具有工藝簡 單、制作簡便、成品率和可靠性高等特點。
聲明:
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