本發(fā)明公開了壓差傳感器系統(tǒng)和方法,包括由用于檢測被檢測介質(zhì)的多個(gè)壓力檢測
芯片組成的絕對壓力傳感器,其中壓力檢測芯片中的每個(gè)都具有背面和前面,并且分別與多個(gè)不同的壓力相關(guān)聯(lián)。被檢測介質(zhì)僅施加在壓力檢測芯片的背面上,由此防止與壓力檢測芯片的前面相關(guān)聯(lián)的引線鍵合和有源區(qū)域暴露于被檢測介質(zhì)并受到與被檢測介質(zhì)相關(guān)聯(lián)的酸和磨蝕化學(xué)物質(zhì)侵蝕。
聲明:
“使用背面檢測和單個(gè)專用集成電路的壓差測量” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)