本發(fā)明屬于光學(xué)傳感器技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種用于氣體分子、生物分子檢測(cè)的法布里帕羅微腔傳感
芯片及其制備方法和檢測(cè)系統(tǒng)。本發(fā)明傳感芯片包括制備有微泡的毛細(xì)石英管以及微泡表面鍍覆的高反射率薄膜;微泡為中空結(jié)構(gòu);微泡表面的反射膜及微泡液芯區(qū)域形成法布里帕羅微腔。本發(fā)明基于微泡的透鏡效應(yīng),克服了傳統(tǒng)法布里帕羅諧振腔對(duì)平面反射鏡之間高平行度的要求,減小了腔內(nèi)諧振模式的體積,增加了腔內(nèi)的光能量密度,使光與物質(zhì)之間的相互作用增強(qiáng);結(jié)合氣體分子、生物分子對(duì)特定波段的光吸收特性以及比爾朗伯定律,實(shí)現(xiàn)對(duì)于超低濃度化學(xué)氣體分子或生物分子的高靈敏度以及微量、痕量分析物檢測(cè)。傳感芯片結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,制備方便,且重復(fù)利用率高。
聲明:
“法布里帕羅微腔傳感芯片及其制備方法和分子檢測(cè)系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)