本實(shí)用新型公開了一種負(fù)壓檢測裝置和監(jiān)控設(shè)備。一種負(fù)壓檢測裝置,包括:連接于所述化學(xué)氣相沉膜設(shè)備上的吹氣結(jié)構(gòu);連接于所述吹氣結(jié)構(gòu)與所述化學(xué)氣相沉膜設(shè)備的連接處的檢測管,引導(dǎo)化學(xué)氣相沉膜設(shè)備中的氣體進(jìn)入所述負(fù)壓檢測裝置來檢測對應(yīng)位置的氣壓;纏繞包裹在所述檢測管表面的加熱帶,加熱所述檢測管。在化學(xué)氣相沉膜設(shè)備工作過程中會產(chǎn)生一些粉末,粉末會隨著氣體進(jìn)入到檢測管中,然后會粘附在檢測管的管壁上,隨著慢慢的積累會將檢測管堵塞,現(xiàn)在在檢測管外側(cè)設(shè)置一個加熱帶,對加熱管進(jìn)行加熱,使管壁溫度升高,防止粉末粘附在管壁上堵塞檢測管。
聲明:
“負(fù)壓檢測裝置和監(jiān)控設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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