本發(fā)明的一種激光直接成像設(shè)備正反面成像對位誤差的檢測方法，可解決現(xiàn)有的檢測方法效率低下而且檢測精度低的技術(shù)問題。包括S10、向產(chǎn)品的A面圖形邊緣添加對位檢測標(biāo)記MARK?A；S20、向產(chǎn)品的B面圖形邊緣添加對位檢測標(biāo)記MARK?B，MARK?A與MARK?B中心對齊；S30、向產(chǎn)品基板的對稱兩板邊固定兩條與基板等厚度的透明材質(zhì)；S40、安裝并調(diào)試基板；S50、對基板A面進行曝光成像；S60、對基板進行左右翻版；S70、對基板B面進行曝光成像；S80、CCD圖像處理系統(tǒng)抓取MARK?A中心坐標(biāo)；S90、CCD圖像處理系統(tǒng)抓取MARK?B中心坐標(biāo)；S100、計算MARK?A與MARK?B中心坐標(biāo)誤差值。本發(fā)明省去了化學(xué)顯影化學(xué)蝕刻化學(xué)退膜和X?Ray照射、顯微鏡測量等步驟，提高了檢測效率和準確性。