本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體清洗設(shè)備工作狀態(tài)的監(jiān)測系統(tǒng),包括燈塔和燈塔控制單元。燈塔具有指示燈和蜂鳴器,其根據(jù)控制信號輸出顏色或聲音或顏色和聲音的組合。燈塔控制單元與清洗設(shè)備的機(jī)械手單元、裝卸載硅片單元、化學(xué)藥液傳輸單元、清洗工藝腔室單元、暫存硅片單元、以及所述燈塔相連。燈塔控制單元通過配置文件配置每一單元的不同狀態(tài)及各單元不同狀態(tài)的組合與燈塔的輸出之間的對應(yīng)關(guān)系;并發(fā)送指令至各單元、根據(jù)各單元對指令的執(zhí)行狀態(tài)反饋信息發(fā)送信號至燈塔使其輸出相應(yīng)的顏色和/或聲音。本發(fā)明使得設(shè)備操作者能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)清洗設(shè)備出現(xiàn)問題并迅速做出響應(yīng)。
聲明:
“半導(dǎo)體清洗設(shè)備工作狀態(tài)的監(jiān)測系統(tǒng)及檢測方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)