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硅納米線芯片及基于硅納米線芯片的質(zhì)譜檢測方法

797 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-19 07:13:09

本發(fā)明公開了一種硅納米線芯片及基于硅納米線芯片的質(zhì)譜檢測方法，檢測方法，包括如下步驟：步驟一，制造硅納米線芯片；將單晶硅片經(jīng)表面洗滌預處理后經(jīng)過金屬輔助刻蝕、堿后刻蝕得到具有尖端的硅納米線芯片；對硅納米線芯片進行表面化學或納米材料修飾；步驟二，硅納米線芯片質(zhì)譜性能評估；步驟三，頂端接觸取樣及原位離子化質(zhì)譜檢測；本發(fā)明充分利用硅納米線芯片的納米結(jié)構特性和半導體特性，將接觸式萃取轉(zhuǎn)印和免基質(zhì)質(zhì)譜檢測集合于一體，大大簡化了復雜樣本的采集、預處理和檢測過程；本發(fā)明制造出的硅納米線芯片能夠同時具備吸附、萃取功能與質(zhì)譜檢測功能，還能保留有空間異質(zhì)性的樣本的原位信息。

聲明：

“硅納米線芯片及基于硅納米線芯片的質(zhì)譜檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)