本發(fā)明提供了一種工藝腔室氣體檢測(cè)系統(tǒng)及其操作方法,該檢測(cè)系統(tǒng)包括一腔體、一抽氣單元、一抽氣管、一連接管以及一氣體檢測(cè)器。前述腔體配置于執(zhí)行化學(xué)氣相沉積工藝,抽氣管連接腔體與抽氣單元,連接管連通抽氣管,氣體檢測(cè)器則設(shè)置于該連接管上,并用以檢測(cè)來自該腔體內(nèi)的氣體中的氧氣含量。本發(fā)明的工藝腔室氣體檢測(cè)系統(tǒng)可通過氣體檢測(cè)器檢查腔體是否有微小外漏,因而可及時(shí)停止CVD工藝與作適當(dāng)處理以避免過多不良的生成品產(chǎn)生,進(jìn)而提升工藝品質(zhì)。
聲明:
“工藝腔室氣體檢測(cè)系統(tǒng)及其操作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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