本實用新型屬于產(chǎn)品檢測裝置,具體涉及一種通過機(jī)器視覺技術(shù)對太陽能硅晶片表面顏色缺陷進(jìn)行檢測的裝置,所檢測的對象是硅晶片在經(jīng)過等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積該道工序后其表面顏色的分布信息。檢測裝置包括上料工位、視覺工位和硅片分類工位,視覺工位裝置包括光源、高速相機(jī)和工控機(jī);工控機(jī)包括內(nèi)置圖像處理軟件的中央處理器和顯示器;光源采用四根條形白色熒光燈,其均勻分布在燈箱的頂部,燈箱的下面使用漫反射板遮蓋;高速相機(jī)采用面陣CCD相機(jī),固定在機(jī)架的橫桿上;硅片分類工位裝置是單軸機(jī)器人。本實用新型裝檢測置能夠?qū)崟r在線、穩(wěn)定準(zhǔn)確、高效地檢測硅晶片表面顏色缺陷。
聲明:
“基于機(jī)器視覺的太陽能硅晶片顏色自動檢測裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)