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微流控芯片非接觸電導(dǎo)檢測池及制備方法

925   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:13:11
一種微流控芯片非接觸電導(dǎo)檢測池及制備方法,屬于芯片微加工領(lǐng)域。該檢測池的外殼為接地金屬盒,檢測池內(nèi)包括微流控芯片、外接毛細管、導(dǎo)線、BNC接頭和四根金屬絲。一根金屬絲作為激發(fā)電極,一根金屬絲作為感應(yīng)電極,兩根處于相對位置的金屬絲作為接地屏蔽電極以減少兩電極耦合而產(chǎn)生的雜散電容。微流控芯片上的電極通道和檢測通道可以采用一步化學濕法刻蝕技術(shù)制備,從而實現(xiàn)精確的檢測池幾何設(shè)計。微流控芯片經(jīng)鍵合后,將金屬絲的一端插入所需的電極通道中,利用環(huán)氧膠將其固定,另一端通過導(dǎo)線與BNC接頭相連即完成檢測池的制備。該方法實施簡便、安全、檢測池幾何參數(shù)可控、重復(fù)性好,可用于構(gòu)建微流控芯片非接觸電導(dǎo)檢測系統(tǒng)。
聲明:
“微流控芯片非接觸電導(dǎo)檢測池及制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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