本發(fā)明公開了車載乙醇檢測的SnO2薄膜及其制備方法,車載乙醇檢測的SnO2薄膜主要包括硅襯底、電極層、薄膜敏感材料層三層。其中敏感材料層主要由SnO2半導(dǎo)體氧化物材料薄膜構(gòu)成,電極層為梳狀電極,采用電沉積并輔以DNA調(diào)控制備納米膜工藝在梳狀電極上生成錫的納米量級氧化物薄膜,然后進(jìn)行金摻雜及退火,制備出納米晶粒氧化錫薄膜。本發(fā)明制備的氧化錫薄膜具有顆粒度小、比表面積大、表面均勻、對汽車?yán)镆讚]發(fā)性氣體乙醇的檢測有較高的靈敏度且響應(yīng)恢復(fù)快等特點。該制備方法具有可在各種結(jié)構(gòu)復(fù)雜的基體上均勻有序沉積,可精確控制沉積層的厚度、化學(xué)組成和結(jié)構(gòu)等特點,制作設(shè)備投資少,工藝簡單,操作容易。
聲明:
“車載乙醇檢測的SnO2薄膜及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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