本實用新型公開了一種刻蝕時間檢測裝置及刻蝕設備,用于解決檢測刻蝕時間數(shù)據(jù)失真嚴重的問題。本實用新型在刻蝕設備的上下基板上安裝了光線透過率檢測器件,通過光線的透過率來檢測刻蝕液進行化學反應的狀態(tài),在透過率到達設定門限時記錄刻蝕反應的結束時間,實現(xiàn)刻蝕時間的自動檢測,從而解決了傳統(tǒng)上目測而產生的誤差,得到準確的刻蝕時間,進而實現(xiàn)了工藝優(yōu)化,提高了良品率。
聲明:
“刻蝕時間檢測裝置及刻蝕設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)