一種檢測(cè)基片轉(zhuǎn)速裝置,包括驅(qū)動(dòng)組件,主動(dòng)輪組件,從動(dòng)輪組件,轉(zhuǎn)速輪組件及轉(zhuǎn)速測(cè)量傳感器。主動(dòng)輪組件和從動(dòng)輪組件用于支撐基片及驅(qū)動(dòng)基片旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速測(cè)量傳感器用于測(cè)量轉(zhuǎn)速輪組件旋轉(zhuǎn)速度。本實(shí)用新型通過(guò)比較驅(qū)動(dòng)組件旋轉(zhuǎn)速度與轉(zhuǎn)速輪組件旋轉(zhuǎn)速度,對(duì)基片旋轉(zhuǎn)作出檢測(cè),同時(shí)對(duì)碾磨、化學(xué)機(jī)械拋光、清洗裝置的工作狀況進(jìn)行監(jiān)測(cè),從而提高設(shè)備的生產(chǎn)效率和基片的成品率。
聲明:
“檢測(cè)基片轉(zhuǎn)速裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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