本發(fā)明提供一種用于拋光例如半導(dǎo)體襯底的化學(xué)機(jī)械(CMP)拋光墊,具有一個(gè)或多個(gè)在2mm厚度下將具有325nm或更低波長(zhǎng)下的UV截?cái)嗟慕K點(diǎn)檢測(cè)窗口(窗口),且所述化學(xué)機(jī)械(CMP)拋光墊是(A)30到56wt.%的一種或多種脂環(huán)族二異氰酸酯或多異氰酸酯與(B)43到69.9999的(i)平均分子量為500到1,500的聚合二醇,如用于硬質(zhì)窗口的聚碳酸酯二醇和用于軟質(zhì)窗口的聚醚多元醇,與(ii)平均分子量為120到320的三醇的多元醇混合物,其中聚合二醇(B)(i)與三醇(B)(ii)的重量比在1.6:1到5.2:1范圍內(nèi),以及催化劑的反應(yīng)混合物的產(chǎn)物,所述催化劑優(yōu)選仲胺或叔胺或新癸酸鉍,所有重量百分?jǐn)?shù)均以所述反應(yīng)混合物的總固體重量計(jì)。
聲明:
“脂肪族聚氨酯光學(xué)終點(diǎn)檢測(cè)窗口和含有它們的CMP拋光墊” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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