本公開提供了一種隔離擋板的檢漏連接頭及檢漏方法,屬于金屬有機化合物化學(xué)氣相沉淀設(shè)備領(lǐng)域。所述檢漏連接頭包括:安裝端子和接頭端子,所述安裝端子包括安裝主體,所述安裝主體上設(shè)有第一連接部以及用于套裝在隔離擋板的冷卻液管上的安裝部,所述接頭端子包括接頭主體,所述接頭主體上設(shè)有第二連接部,所述第一連接部與所述第二連接部可拆卸連接以使所述接頭端子套裝在所述冷卻液管的管口上,所述接頭主體上還設(shè)有用于將所述冷卻液管的管口與檢漏儀密封連通的接頭部。本公開能夠檢測Shutter上是否存在漏點。
聲明:
“隔離擋板的檢漏連接頭及檢漏方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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