本發(fā)明公開(kāi)了一種檢查SAT(次常壓化學(xué)汽相淀積設(shè)備)汽化閥堵塞的方法,包括:通過(guò)一次成膜制作硼磷硅玻璃光片,作為測(cè)試片一;采用相同工藝和參數(shù)通過(guò)多次成膜制作與測(cè)試片一厚度相同的硼磷硅玻璃光片,作為測(cè)試片二;對(duì)測(cè)試片一和測(cè)試片二進(jìn)行硼磷濃度測(cè)量;比較測(cè)試片一和測(cè)試片二中的硼磷濃度;當(dāng)硼濃度相差大于等于0.4mol%,磷濃度相差大于等于0.2mol%,判定汽化閥堵塞;當(dāng)硼濃度相差小于0.4mol%,磷濃度相差小于0.2mol%,判定汽化閥暢通。本發(fā)明檢查SAT汽化閥堵塞的方法能快速檢測(cè)BPSG成膜是否有濃度異常,能準(zhǔn)確判斷汽化閥是否堵塞。
聲明:
“檢查SAT汽化閥堵塞的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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