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PECVD涂層的檢查方法

915   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:20:11
提供了一種用于檢查涂覆過(guò)程的產(chǎn)品的方法。在某些實(shí)施例中,測(cè)量了至少一種揮發(fā)性物種從該涂覆表面到與該涂覆表面鄰近的氣體空間中的釋放并將該結(jié)果與對(duì)于在相同試驗(yàn)條件下測(cè)量的至少一個(gè)參比物體的結(jié)果相比較。還披露了微量天平稱(chēng)量方法來(lái)檢測(cè)并區(qū)分PECVD涂層。因此,可以確定該涂層的存在或不存在和/或該涂層的物理和/或化學(xué)特性。該方法對(duì)于檢查任何涂覆的物品(例如容器)是有用的。還披露了它在由有機(jī)硅前體制成的PECVD涂層(尤其是阻擋涂層)的檢查方面的應(yīng)用。
聲明:
“PECVD涂層的檢查方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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