一種植入式微型生物傳感器的制造方法,包括:提供一個(gè)表面含有第一感測區(qū)的基板;形成一個(gè)第一工作電極于表面上,使該第一工作電極至少包含一個(gè)含有第一導(dǎo)電材料的第一感測段;形成至少一個(gè)第二工作電極于表面上,使該第二工作電極至少包含一個(gè)鄰設(shè)于該第一感測段的至少一個(gè)側(cè)邊并包含第二導(dǎo)電材料的第二感測段;及形成一個(gè)化學(xué)試劑層并使其至少蓋覆于第一感測段的第一導(dǎo)電材料上,以與該目標(biāo)分析物反應(yīng)。本發(fā)明制造方法可于同一感測區(qū)內(nèi)制作出表面材質(zhì)不同的兩個(gè)感測段,可經(jīng)由圖案化程序精準(zhǔn)控制電極的形狀尺寸及位置,并能滿足制程簡化的需求。
聲明:
“植入式微型生物傳感器的制造方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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