本發(fā)明涉及一種氣相色譜法測定HF中痕量雜質(zhì)的設(shè)備及方法，屬于化學(xué)分析技術(shù)領(lǐng)域。所述設(shè)備中，設(shè)備主體側(cè)壁固連有真空泵，真空泵輸出端連通導(dǎo)氣管，導(dǎo)氣管側(cè)壁連通設(shè)有第一、二進(jìn)氣管以及載氣管，設(shè)備主體內(nèi)底部固連有放置箱和柱箱，放置箱內(nèi)頂部固連有連接板，連接板下端固連有加熱棒，放置箱上壁貫穿設(shè)有安裝筒和開口，設(shè)備主體側(cè)壁固連有顯示器，安裝筒上設(shè)有加熱導(dǎo)氣管的驅(qū)動機(jī)構(gòu)；導(dǎo)氣管、第一、二進(jìn)氣管與載氣管上均設(shè)閥門，導(dǎo)氣管與柱箱連通；柱箱內(nèi)設(shè)有氦離子化檢測器；放置箱內(nèi)填充有二甲基硅油，加熱棒延伸至二甲基硅油油面下，安裝筒的下端位于二甲基硅油油面下。所述設(shè)備及方法提高了氟化氫的痕量雜質(zhì)分析結(jié)果的準(zhǔn)確度。