本發(fā)明公開了一種ICP-MS在線取樣裝置,該裝置包括:框架、設(shè)置在所述框架內(nèi)的管路連接系統(tǒng)以及管路控制系統(tǒng),所述管路連接系統(tǒng)連接待測試的化學(xué)系統(tǒng)與ICP-MS取樣針,所述管路控制系統(tǒng)對所述管路連接系統(tǒng)進行控制。同時本發(fā)明還公開了一種金屬雜質(zhì)在線監(jiān)測方法,該方法通過所述ICP-MS在線取樣裝置連接ICP-MS分析儀和待測試化學(xué)系統(tǒng),實現(xiàn)對所述待測試化學(xué)系統(tǒng)的金屬雜質(zhì)的監(jiān)測。由于該ICP-MS在線取樣裝置可直接連接待測試的化學(xué)品系統(tǒng)與ICP-MS分析儀,從而使測量結(jié)果不受取樣環(huán)境、樣品轉(zhuǎn)換交叉污染和取樣容器的影響,可以滿足ppt級別的化學(xué)品的日常監(jiān)測,并且可實現(xiàn)一臺ICP-MS分析儀監(jiān)測多種化學(xué)品系統(tǒng)中的金屬雜質(zhì),從而節(jié)省了成本。