本發(fā)明屬于半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，具體地說(shuō)是一種利用光纖傳感器檢測(cè)液體流速的流速測(cè)量裝置，適用于精準(zhǔn)控制液體流速的設(shè)備，尤其適用半導(dǎo)體制程中化學(xué)藥劑的精確供應(yīng)，包括浮子流量計(jì)，所述浮子流量計(jì)相對(duì)應(yīng)的兩側(cè)分別安裝有光纖傳感器，所述兩側(cè)的光纖傳感器分別與控制系統(tǒng)電連接；液體由所述浮子流量計(jì)的進(jìn)液端口進(jìn)入玻璃管內(nèi)，由出液端口流出，所述玻璃管中的浮子通過(guò)上下兩端產(chǎn)生差壓形成的上升力向上浮動(dòng)至光纖傳感器的安裝位置，阻擋兩側(cè)的光纖傳感器的信號(hào)，所述信號(hào)送至控制系統(tǒng)。本發(fā)明利用光纖傳感器照射浮子流量計(jì)中的浮子，通過(guò)檢測(cè)浮子在浮子流量計(jì)中的上下位置，達(dá)到控制化學(xué)藥劑流量的目的，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，控制方便。