6的在線快速測量裝置及方法,化學分析"> 6的在線快速測量裝置及方法,本發(fā)明公開了一種對大氣環(huán)境中的SF6進行靈敏、快速在線監(jiān)測的新方法及裝置。本方法利用負離子模式離子遷移譜,分別通過直接進樣和摻雜水汽的方式檢測干燥環(huán)境和不同濕度環(huán)境中的SF6。監(jiān)測裝置包括:漂氣、質量流量計、空氣過濾器、摻雜劑瓶、摻雜劑、離子遷移譜系統(tǒng)、放大器、真空泵等。本發(fā)明通過負離子模式離子遷移譜吸氣采樣,設計摻雜劑裝置摻雜特定濃度的水汽的方式,引發(fā)化學反應,在排除大氣環(huán)境中不同濕度對測量干擾的同時,通過監(jiān)測SF6的分子離子峰和與水汽反應后形成的新峰,">

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SF6的在線快速測量裝置及方法

811   編輯:管理員   來源:中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-19 07:25:20
本發(fā)明公開了一種對大氣環(huán)境中的SF6進行靈敏、快速在線監(jiān)測的新方法及裝置。本方法利用負離子模式離子遷移譜,分別通過直接進樣和摻雜水汽的方式檢測干燥環(huán)境和不同濕度環(huán)境中的SF6。監(jiān)測裝置包括:漂氣、質量流量計、空氣過濾器、摻雜劑瓶、摻雜劑、離子遷移譜系統(tǒng)、放大器、真空泵等。本發(fā)明通過負離子模式離子遷移譜吸氣采樣,設計摻雜劑裝置摻雜特定濃度的水汽的方式,引發(fā)化學反應,在排除大氣環(huán)境中不同濕度對測量干擾的同時,通過監(jiān)測SF6的分子離子峰和與水汽反應后形成的新峰,提高離子遷移譜對SF6測量的準確性和穩(wěn)定性。本發(fā)明檢測限可達0.1ppm。
聲明:
“SF6的在線快速測量裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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