本發(fā)明公開一種筆形海綿掉落探測裝置,化學(xué)機(jī)械研磨設(shè)備中設(shè)有第二階段清潔器,該第二階段清潔器包含用于放置晶圓的平臺(tái),以及設(shè)置在平臺(tái)一側(cè)的機(jī)械臂,機(jī)械臂的端部設(shè)有固定器,筆形海綿設(shè)置在該固定器中;本探測裝置包含:固定支架,其固定在機(jī)械臂的端部;傳感器,其固定在固定支架的端部;傳感器靠近筆形海綿設(shè)置,該筆形海綿與傳感器之間的距離在傳感器的探測范圍內(nèi);傳感器的輸出端電路連接外接的主控制器。本發(fā)明設(shè)置光電接近傳感器于筆形海綿側(cè)邊,可立即檢測到筆形海綿的掉落情況,避免在生產(chǎn)過程中發(fā)生筆形海綿脫落而導(dǎo)致晶圓損壞報(bào)廢的事故,有效的保護(hù)了第二階段清潔器和晶圓,提高第二階段清潔器的使用壽命和晶圓的良率。
聲明:
“筆形海綿掉落探測裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)