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紫外探測器及其制備方法

819 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 07:25:57

本發(fā)明公開了一種紫外探測器及其制備方法，以及一種用作紫外探測器光激活層的非晶氧化物薄膜。該紫外探測器包含襯底、光激活層及一對電極，且光激活層為非晶氧化物薄膜，該非晶氧化物薄膜的化學式為Zn4AlxSn7O1.5x+18，其中0≦x≦1.0。制備本發(fā)明的紫外探測器的步驟包括襯底準備步驟、光激活層形成步驟以及形成金屬電極步驟，其中光激活層形成步驟為通過低溫化學反應法形成化學式為Zn4AlxSn7O1.5x+18的非晶氧化物薄膜。本發(fā)明制得的紫外探測器，暗電流為10-9~10-6A、光電流為10-8~10-5A，響應靈敏度為10~50。本發(fā)明使用的制備方法操作簡單、成本低，制得的紫外探測器具有探測靈敏度高等優(yōu)點，在軍事、民用等領域具有重要的應用價值。

聲明：

“紫外探測器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)