基于Compact?Particle?Swarm?Optimization算法的光刻機掩模臺微動臺的機械參數(shù)軟測量方法,屬于半導(dǎo)體制造裝備技術(shù)領(lǐng)域及機械參數(shù)測量領(lǐng)域。為了解決現(xiàn)有工件臺微動部分機械參數(shù)估計算法精度差的問題。所述方法包括如下步驟:步驟一:根據(jù)掩模臺微動臺的機械機構(gòu)及其理論設(shè)計,建立微動臺的理想運動學(xué)模型,確定待測機械參數(shù),建立掩模臺微動臺含差模型;步驟二:給定位置輸入,驅(qū)動微動臺運動產(chǎn)生位移,將實際輸出位移與通過建立的掩模臺微動臺含差模型計算出的輸出位移值做差,作為尋優(yōu)的目標函數(shù);步驟三:根據(jù)目標函數(shù),利用Compact?Particle?Swarm?Optimization優(yōu)化學(xué)習(xí)算法確定待辨識的機械參數(shù)。它用于微動臺的機械參數(shù)求取。
聲明:
“基于Compact Particle Swarm Optimization算法的光刻機掩模臺微動臺的機械參數(shù)軟測量方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)