本發(fā)明公開了一種用于紅外探測器的氧化釩薄膜及其制作方法,該薄膜為氧化釩-
碳納米管復(fù)合膜,即由一維碳納米管與兩維氧化釩膜復(fù)合而成,構(gòu)成紅外探測器的熱敏電阻材料及紅外吸收材料。采用這種氧化釩-碳納米管復(fù)合膜用于紅外探測器的制作,克服了現(xiàn)有制造技術(shù)對敏感薄膜化學(xué)結(jié)構(gòu)造成的負(fù)面影響,同時,還能夠克服單純的碳納米管、或單純的氧化釩材料在電學(xué)和光學(xué)等性能的不足,提高器件的綜合性能。本發(fā)明公開的氧化釩-碳納米管復(fù)合膜的制備方法簡單,無需復(fù)雜、昂貴的成膜設(shè)備,降低了制造成本,提高了紅外探測器的工作性能,適宜大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。
聲明:
“用于紅外探測器的氧化釩薄膜及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)