本發(fā)明提供了一種ZnGa
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4紫外探測(cè)器,包括依次復(fù)合而成的襯底、ZnGa
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4薄膜以及金屬叉指電極;所述ZnGa
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4薄膜以有機(jī)鋅化合物作為鋅源,有機(jī)鎵化合物作為鎵源,以高純氧氣為氧源,利用金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積法在襯底表面沉積得到。本發(fā)明使用金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積法制備ZnGa
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4薄膜,通過(guò)增加氧氣流量,增加氧分壓,減少氧缺陷,使制備得到的ZnGa
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4薄膜層具有結(jié)晶質(zhì)量高,不出現(xiàn)分相,吸收截止邊陡峭等特點(diǎn),進(jìn)而使包含ZnGa
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4薄膜層的紫外探測(cè)器具有較低的暗電流,較高的響應(yīng)度。
聲明:
“鋅鎵氧紫外探測(cè)器及其制備方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)