亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 化學(xué)分析技術(shù)

> 臺(tái)面式硅摻砷阻擋雜質(zhì)帶探測(cè)器及其制備方法

臺(tái)面式硅摻砷阻擋雜質(zhì)帶探測(cè)器及其制備方法

786   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:27:48
本發(fā)明提供了一種臺(tái)面式硅摻砷阻擋雜質(zhì)帶探測(cè)器及其制備方法,包括在高導(dǎo)硅襯底上外延生長(zhǎng)硅摻砷吸收層,摻雜砷離子;在吸收層上外延生長(zhǎng)高阻硅阻擋層;再通過光刻、離子注入、快速熱退火、深硅刻蝕、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積、反應(yīng)離子束刻蝕、濕法腐蝕、電子束蒸發(fā)等工藝制作正、負(fù)電極。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于:采用化學(xué)氣相沉積法外延生長(zhǎng)硅摻砷吸收層,便于增加吸收層厚度和調(diào)節(jié)摻雜濃度,提高吸收層的吸收效率及器件響應(yīng)率,避免了離子注入引起的損傷,降低了暗電流;將負(fù)電極設(shè)置在高導(dǎo)硅襯底上,縮短了光生載流子的輸運(yùn)路徑,降低了光生載流子被高導(dǎo)硅襯底中雜質(zhì)和缺陷俘獲的幾率,進(jìn)一步降低器件的暗電流,提高響應(yīng)率。
聲明:
“臺(tái)面式硅摻砷阻擋雜質(zhì)帶探測(cè)器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對(duì) 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
化學(xué)分析
全國(guó)熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺(tái)

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會(huì)
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國(guó)微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會(huì)
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號(hào)

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記