本發(fā)明提供一種測量LTPS顯示面板的TFT電性的方法,其通過化學(xué)試劑同時與有機平坦層以及第二金屬層中的鋁反應(yīng),去除有機平坦層、第二金屬層中的鋁、以及第二金屬層中的位于鋁和有機平坦層之間的第一金屬材料,僅保留第二金屬層中位于遠離所述有機平坦層一側(cè)的第一金屬材料,去除有機平坦層時不需要保留第二金屬層中的鋁,避免因第二金屬層中的鋁表面蝕刻不均勻?qū)е碌腡FT電性測量偏差,能夠準確測量LTPS顯示面板的TFT電性,提升LTPS顯示面板的TFT電性的測量成功率,保證LTPS顯示面板產(chǎn)品良率。
聲明:
“測量LTPS顯示面板的TFT電性的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)