本發(fā)明提供一種電容-電壓測試預(yù)處理的方法,包括如下步驟:提供一待測試片;將所述待測試片置于臭氧環(huán)境中進(jìn)行預(yù)處理,以形成一氧化層。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于,采用臭氧處理測試片表面后,大大簡化了處理的流程,縮短了預(yù)處理的時(shí)間,僅占現(xiàn)有預(yù)處理方法20%左右的預(yù)處理時(shí)間。并且由于不使用化學(xué)藥劑,具有處理更加高效、更加環(huán)保、更加安全、更加節(jié)約成本、且測試重復(fù)性好等優(yōu)點(diǎn)。
聲明:
“電容-電壓測試預(yù)處理的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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