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金屬/石墨烯/多晶金剛石膜粒子探測器制備方法

908   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:28:47
本發(fā)明公開了一種金屬/石墨烯/多晶金剛石膜粒子探測器制備方法,屬于核物理技術(shù)領(lǐng)域,其步驟為先于Ar和H2等離子體氣氛中700?800℃溫度范圍對金屬基體進行熱處理,再關(guān)閉Ar通入CH4,調(diào)節(jié)微波功率于600?700℃的金屬基體表面生長石墨烯層,最后再調(diào)節(jié)H2、CH4比例、微波功率及銅箔溫度,在800?900℃基體溫度范圍、1.66~4.50%的甲烷濃度條件下生長0.25~0.5 mm厚的高質(zhì)量多晶金剛石膜,形成基于金屬+石墨烯歐姆接觸電極的金剛石粒子探測器;上述步驟優(yōu)選在同一套微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置中完成,在同一套裝置中通過原位連續(xù)生長構(gòu)建探測器整體結(jié)構(gòu),材料不需在不同設(shè)備間轉(zhuǎn)移,本發(fā)明的方法制備效率高、步驟簡便、成本低,且能保證各層材料制備的高質(zhì)量。
聲明:
“金屬/石墨烯/多晶金剛石膜粒子探測器制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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