本實(shí)用新型屬于水質(zhì)監(jiān)測(cè)傳感器技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種基于微納加工工藝的多參數(shù)水質(zhì)監(jiān)測(cè)傳感器,包括傳感器本體和
芯片,所述傳感器本體內(nèi)設(shè)置有芯片,所述芯片包括PH電極、溶解氧電極、電導(dǎo)率電極和溫度電極,所述PH電極包括通用正極和PH電極負(fù)極,所述溶解氧電極包括通用正極和溶解氧負(fù)極。通過采用微納加工工藝制備,布局于硅基片上的各測(cè)試電極結(jié)構(gòu)緊湊,體積小巧,集成程度高,制備簡(jiǎn)單,便于安裝,并且各監(jiān)測(cè)參數(shù)使用的電極材料均具有較強(qiáng)的熱穩(wěn)定性和化學(xué)穩(wěn)定性,對(duì)傳感器的后期測(cè)試穩(wěn)定性有較強(qiáng)保障作用。
聲明:
“基于微納加工工藝的多參數(shù)水質(zhì)監(jiān)測(cè)傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)