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銅互連可見-紅外探測器的制備方法

725   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:28:48
本發(fā)明提供一種銅互連可見?紅外探測器的制備方法,包括:S1、分別在讀出電路和感光層上制備銅柱;S2、分別在讀出電路上的銅柱間的間隙內(nèi)和感光層上的銅柱間的間隙內(nèi)填充二氧化硅或氮化硅形成復(fù)合層;S3、采用光學(xué)對準(zhǔn)方法將讀出電路和感光層上的銅柱對準(zhǔn);S4、采用低溫退火方法使讀出電路上的銅柱與感光層上的銅柱鍵合;S5、對鍵合后的感光層進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光,以將感光層的襯底去掉,獲得銅互連可見光?短波紅外探測器。利用上述本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)可見光?紅外光的寬光譜探測。
聲明:
“銅互連可見-紅外探測器的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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