一種具有多個(gè)量測座的臺座空隙平準(zhǔn)調(diào)整工具,用于在化學(xué)氣相沉積室內(nèi)校正臺座與擴(kuò)散器間的相對位置,其中該臺座支撐基板且可在該沉積室體中沿著臺座軸進(jìn)行垂直方向移動,及該擴(kuò)散器,用于將工藝氣體擴(kuò)散至該腔體中,其具有:多個(gè)支撐座,可被放置在該臺座上的任意指定位置;及多個(gè)感應(yīng)器,分別設(shè)置于上述支撐座上,用于在個(gè)別指定位置測量該臺座與擴(kuò)散器之間的距離。
聲明:
“具有多個(gè)測量座的臺座空隙平準(zhǔn)調(diào)整工具” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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