本發(fā)明公開了一種
碳納米管結(jié)合低維材料克服激子效應(yīng)的高響應(yīng)紅外探測(cè)器。器件的制備步驟是利用化學(xué)氣相沉積生長單壁碳納米管(SWCNTs),并通過溶液分離法均勻沉積在Si/SiO2形成薄膜,利用熱蒸發(fā)在上面沉積金屬鈀(Pd)作為源極和漏極。利用光刻膠為掩模,用氧刻將器件周圍一圈碳管薄膜刻蝕干凈。最后將低維材料硫化鉛量子點(diǎn)通過逐層旋涂的方式沉積在已制備好的碳納米管場(chǎng)效應(yīng)晶體管上完成SWCNTs復(fù)合結(jié)構(gòu)器件。利用低維材料與SWCNTs形成異質(zhì)結(jié),克服SWCNTs的激子效應(yīng),同時(shí)提升器件近紅外響應(yīng)。本發(fā)明的特點(diǎn)是將一維單壁碳管與低維材料相結(jié)合,制作成本低、工藝簡單易制備、響應(yīng)度高、工作溫度高。
聲明:
“碳納米管結(jié)合低維材料克服激子效應(yīng)的高響應(yīng)紅外探測(cè)器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)