一種用于檢測化學和/或生物學分析物的裝置和方法,該裝置包括至少部分包埋在傳感元件(18)內的微型懸臂(2)的可偏轉的臂(4)。將可能含有要檢測的分析物的氣體或液體介質導入所述傳感元件(18)。在存在要檢測的分析物的條件下,所述傳感元件(18)會發(fā)生體積膨脹或收縮,通常是通過吸附所述分析物造成的。所述傳感元件的體積的改變導致了所述可偏轉的臂(4)偏轉,所述可偏轉的臂(4)包括至少一種在所述臂偏轉時發(fā)生改變的可檢測的物理特性。
聲明:
“包埋的壓電電阻微型懸臂傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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