本發(fā)明涉及一種氣體混合配制系統(tǒng),特別涉及一種用于化學(xué)氣相沉積法生長(zhǎng)
碳納米管的氣體配制系統(tǒng)。本發(fā)明所提供的氣體配制系統(tǒng)包括多個(gè)氣體源,其可分別提供不同氣體;多個(gè)氣體流量計(jì),其分別通過導(dǎo)氣管與各氣體源相連,以控制各氣體的流量;一氣體混合腔,通過導(dǎo)氣管與該多個(gè)氣體流量計(jì)相連通;以及一氣體分析儀,通過導(dǎo)氣管與氣體混合腔相連,其可測(cè)得氣體混合腔內(nèi)混合氣體各組分的濃度;其中,各氣體源提供的氣體經(jīng)由導(dǎo)氣管,通過氣體流量計(jì)進(jìn)入混合腔混合均勻,再通過氣體分析儀檢測(cè)混合腔內(nèi)混合氣體的組分濃度,調(diào)節(jié)氣體流量計(jì),可將混合氣體的組分濃度控制在預(yù)定范圍內(nèi)。另外,本發(fā)明還提供采用上述氣體配制裝置的氣體配制方法。
聲明:
“氣體配制系統(tǒng)及其氣體配制方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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