本發(fā)明公開一種表面等離子共振傳感器及其制作方法,它涉及到傳感器制作技術(shù)領(lǐng)域。首先以一種K9玻璃材料為襯底、在所述襯底上制備一單模條形光波導(dǎo)、在所述光波導(dǎo)上淀積一層厚度約為50nm的金屬薄膜、在所述金屬薄膜上制作一個(gè)微型樣品池和一個(gè)微型參考池;測量時(shí)在參考池中裝入蒸餾水,用于獲取共振波長變化的參考點(diǎn)。基于共振波長差的變化,實(shí)現(xiàn)對樣品組份的微量檢測。經(jīng)理論分析可知,由于采用了參考池,且它和樣品池有相同的溫度,使傳感器克服了由溫度漂移引起的測量誤差。該化學(xué)SPR傳感器,可對海水鹽度、溶液中葡萄濃度或乙醇濃度進(jìn)行檢測,精度可達(dá)10
-6(0.0001%)。
聲明:
“能消除溫度影響的表面等離子共振傳感器及其制作方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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