本發(fā)明公開了一種超級結(jié)深溝槽外延填充參數(shù)的計算方法,對不同產(chǎn)品通過其基礎(chǔ)參數(shù)計算深溝槽需要填充的總?cè)莘e,在相同外延填充時間條件下收集其化學(xué)機(jī)械研磨終點(diǎn)檢知時間數(shù)據(jù),通過大數(shù)據(jù)分析得到深溝槽體積與EPD的線性關(guān)系,根據(jù)線性關(guān)系及外延過填程度和EPD的關(guān)系再進(jìn)行理論推導(dǎo),可以快速高效地推算出不同產(chǎn)品需要的理論外延填充時間,不再需要進(jìn)行FA SEM切片或做外延填充時間拉偏實(shí)驗來確認(rèn)填充程度,不僅節(jié)省大量測試環(huán)節(jié)時間,而且提高了外延工藝精準(zhǔn)度。
聲明:
“超級結(jié)深溝槽外延填充參數(shù)的計算方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)