本發(fā)明公開(kāi)了一種高頻基板在熱氧老化過(guò)程中的退化特性表征方法，包括以下步驟：對(duì)未經(jīng)熱氧老化處理的高頻基板樣品和經(jīng)不同程度熱氧老化處理的高頻基板樣品進(jìn)行電性能參數(shù)測(cè)試、化學(xué)結(jié)構(gòu)分析、熱分析及顯微組織分析，得到電性能參數(shù)信息、化學(xué)結(jié)構(gòu)信息、熱力學(xué)特性信息及顯微結(jié)構(gòu)信息；分析未經(jīng)熱氧老化處理、經(jīng)不同程度熱氧老化處理的高頻基板樣品的電性能參數(shù)、化學(xué)結(jié)構(gòu)、熱力學(xué)特性、顯微結(jié)構(gòu)的演變趨勢(shì)；建立未經(jīng)熱氧老化處理、經(jīng)不同程度熱氧老化處理的高頻基板樣品的電性能參數(shù)、化學(xué)結(jié)構(gòu)、熱力學(xué)特性、顯微結(jié)構(gòu)之間的關(guān)聯(lián)關(guān)系。本發(fā)明能夠全方位表征高頻基板在熱氧老化過(guò)程中的退化特性及演變規(guī)律，為產(chǎn)品設(shè)計(jì)提供全面參考。