亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 化學(xué)分析技術(shù)

> 適用SAW器件的納米金剛石膜及制備方法與用途

適用SAW器件的納米金剛石膜及制備方法與用途

896   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:31:08
本發(fā)明公開了一種適用SAW器件的納米金剛石 薄膜及制備方法與用途,這種利用微波等離子化學(xué)氣相沉積法 制備的C-軸取向的金剛石納米膜,膜厚6μm,晶粒度為: 200-250nm,sp3成分≥90%,滿 足波長λ≤4μm高頻聲表面波傳播條件。本發(fā)明納米金剛石 膜具有C-軸擇優(yōu)取向,平整光滑,具有一定厚度,結(jié)晶度好。 該薄膜可滿足納米金剛石薄膜領(lǐng)域的應(yīng)用需求,用射頻離子濺 射可制備出C-軸取向的壓電薄膜,例如高頻、大功率聲表面 波(SAW)器件等。經(jīng)使用HP8712ET網(wǎng)絡(luò)分析儀測量SAW濾 波器中心頻率,當IDT指寬為d=1.7μm時,SAW濾波器中 心頻率可達到1.75GHz。
聲明:
“適用SAW器件的納米金剛石膜及制備方法與用途” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽:
化學(xué)分析
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺微信公眾號
了解更多信息請您掃碼關(guān)注官方微信
中冶有色技術(shù)平臺微信公眾號中冶有色技術(shù)平臺

最新更新技術(shù)

報名參會
更多+

報告下載

第二屆中國微細粒礦物選礦技術(shù)大會
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團)有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記