本發(fā)明公開了一種適用SAW器件的納米金剛石 薄膜及制備方法與用途,這種利用微波等離子化學(xué)氣相沉積法 制備的C-軸取向的金剛石納米膜,膜厚6μm,晶粒度為: 200-250nm,sp3成分≥90%,滿 足波長λ≤4μm高頻聲表面波傳播條件。本發(fā)明納米金剛石 膜具有C-軸擇優(yōu)取向,平整光滑,具有一定厚度,結(jié)晶度好。 該薄膜可滿足納米金剛石薄膜領(lǐng)域的應(yīng)用需求,用射頻離子濺 射可制備出C-軸取向的壓電薄膜,例如高頻、大功率聲表面 波(SAW)器件等。經(jīng)使用HP8712ET網(wǎng)絡(luò)分析儀測量SAW濾 波器中心頻率,當IDT指寬為d=1.7μm時,SAW濾波器中 心頻率可達到1.75GHz。
聲明:
“適用SAW器件的納米金剛石膜及制備方法與用途” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)