本發(fā)明公開(kāi)了一種潔凈室腐蝕性氣體來(lái)源確定方法，包括如下步驟：（1）提供一潔凈室；（2）監(jiān)測(cè)每個(gè)所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)的腐蝕試片的電性能參數(shù)確定受害區(qū)；（3）采集腐蝕試片并辨識(shí)出腐蝕性氣體包含的化學(xué)物質(zhì)；（4）采集潔凈室周圍的環(huán)境空氣并辨識(shí)出環(huán)境空氣包含的化學(xué)物質(zhì)；（5）確定各個(gè)機(jī)臺(tái)使用的化學(xué)物質(zhì)和各個(gè)工藝使用的化學(xué)物質(zhì)及其衍生物；（6）確定腐蝕性氣體的可疑來(lái)源；（7）通過(guò)計(jì)算流體動(dòng)力學(xué)模型模擬各個(gè)可疑來(lái)源釋放的化學(xué)物質(zhì)的流動(dòng)；（8）確定為腐蝕性氣體的來(lái)源。本發(fā)明的潔凈室腐蝕性氣體來(lái)源確定方法，不但能夠檢測(cè)受害區(qū)，而且可以確定腐蝕性氣體來(lái)源，對(duì)潔凈室的污染問(wèn)題達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)兼職的目的。